鳳鳴亮半導體晶元片非接觸厚度激光檢測儀

一、概述：

半導體晶元片非接觸厚度激光檢測儀具有，在線，動態，非接觸，無損傷，高精度的測厚功能，并且，這種設備對人與環境都無污染無傷害（無需作環評）測量范圍廣泛，可用于檢測半導體晶元片的厚度，和各種金屬制品生產線、塑料膜擠出、嵌鑲板、壓模木板、地毯、PVC、橡膠壓制等生產線。測量不受灰塵、振動等外界環境的影響。對于被測材料的內部結構和表面是否平整沒有要求。

二、應用背景：

非接觸式測厚儀顧名思義就是測量儀器與被測物體之間是無接觸就可測量厚度的，能夠很好的保護所測物體。在工業生產中多用來連續測量產品的厚度（如半導體晶元片，鋼板、鋼帶、紙張、涂層、板材、薄膜、片材等）。非接觸式測厚儀有激光測厚儀、電渦流測厚儀，根據應用不同，又可分為薄膜測厚儀，鍍層測厚儀和板材測厚儀激光測厚儀 激光在線測厚儀是新一代研制的在線、動態，非接觸式的測厚儀。它集激光技校，光電檢測技校和計算機工業控制技術三者于一身，可廣泛用于生產線上對各種材料的厚度進行在線的實時測厚，是我國工業生產線產品質量控制的重要設備。 主要技術特點： 非接觸式、在線測厚 采樣速度快（達：10000個/秒）、精度高，工作穩定，操作簡單 厚度范圍0～30mm（或可按要求設定范圍） 精度高可達2um。 主要應用領域： 電池行業，防水卷材，橡膠、壓延冷軋鋼銅鋁板帶行業、朔料薄膜生產行業、機械、輕工等行業。激光測厚儀在工業生產中多用來連續測量產品的厚度。由于其種類繁多，在各個領域都有

LTG-680型在線激光測厚儀是一個非接觸式的板材，帶材，片材，卷材的厚度測量系統，控制材料厚度在工業生產中非常重要，LTG-680型在線激光測厚系統可以用較少的時間來確保這一功能的實現，系統會在產品不合格的情況下立即發出聲和光的警報來提高產品的質量以減少廢品，這種強大的程序監控系統既可以增加產量同時也節約了原材料和能源。

LTG-680型在線激光測厚儀運用*的激光三角測量技術并采用非接觸可掃描方法進行測厚，10KHz的高速取樣頻率和0.0001mm的高分辨率，這種方法較之前的接觸式測厚更值得信賴并且維修費低，另外有一個好處是沒有產品標記或壓迫，激光主機安裝在我們*的一個安裝支架上，免維修且不需要對光學主機進行日常的清理，也不需要進行頻繁的校準，即使在高速運作和持續生產的情況下，激光技術可以保證不存在盲區，可以進行點到點的*測厚。以Windows為基礎的系統軟件有很多的設置功能，實時圖像顯示，顯示每塊面板，警報特征，厚度趨勢圖，產品庫以及用戶數據庫，另外產品統計也可以根據需求進行編寫呈現或打印。該系統已經實施過十多年，在電池/電容行業和各種面板生產工廠，壓延冷軋金屬板帶生產廠，塑料薄膜，玻璃纖維生產廠中的不同應用， 包括很多的壓力機既有單種類型的也有多種開放類型的，也有在磨砂機后或在精整作業線上的。 

 三、產品優勢:

• 任何速度下都高精度 。

• 非接觸式，高精度，低維修

• 表面無標記

• 可測量薄板、卷材、板材

• 產量高

• 能適應惡劣環境

LTG-680型在線激光測厚系統在惡劣環境下能保持高精準度和低維修，在提供激光在線測厚系統方面有著豐富的經驗，根據不同的應用，LTG-680型在線激光測厚系統可以進行配置高性能的空氣凈化系統保持干凈和通風來適應悶熱和潮濕的環境。

達到高精準度不僅僅是運用精準度高的激光光學主機那么簡單，機械設計同樣非常重要，光學主機安裝支架運用了低膨脹系數的材料和關鍵部位的應力消除通過退火的方式來減少熱變形。這樣就會形成一個穩定的測量系統而不需要頻繁的調整，在大部分的生產線，物料會發生振動，我們有一個系統可以不受振動的影響并且精準度高，這個是通過測量不同厚度和高速記錄采樣，頻率為10KHz赫茲的探頭來實現的。

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四、典型應用：

LTG-680型在線激光測厚系統是一個高精準度的非接觸式厚度測量儀器。不管是測量軟木板還是硬木板，厚的還是薄的都可以提供高精準度的測量。

典型應用及其精度：

典型應用的技術參數（人造板行業應用）:

測量范圍：0.1-30mm

測量精度：±0.02mm

分辨率：0.001mm

  取樣頻率：10000Hz

工作溫度：0-35ºC

波長：650nm

激光等級： 3B

防護等級：IP67

線性度：±0.05%

典型應用的技術參數（鋁箔、銅箔、鋁電池極片行業應用）：

測量激光波長：650nm可見光ClassⅡ（FDA）

激光功率：10mW max

激光線性度：±0.05% F.S

分辨率：100nm（測量范圍10mm）

測量精度：±2μm

測量頻率：10KHz

輸出信號：RS232

輸入電源：115-230VAC 50/60Hz 200VA

掃描速度：0-200mm/s

數字輸入控制：掃描、校準、復位

軟件環境：專有測量軟件進行系統控制、數據處理及存儲

測量范圍：0-6mm（系統設計時可選）

單C型架進深：長度可至680 mm

測量范圍：0 mm≤厚≤32mm；0 mm≤寬≤680mm